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硅片甩干機(jī)作業(yè)主要操作內(nèi)容

 更新時(shí)間:2024-03-21 點(diǎn)擊量:2353
  硅片甩干機(jī)也稱為晶圓甩干機(jī)或SRD(spin rinse dryer),是一種用于半導(dǎo)體制程中清洗后干燥晶圓的設(shè)備。其工作原理主要是利用離心力和揮發(fā)性有機(jī)溶劑來干燥硅片,它是半導(dǎo)體制造過程中不可少的設(shè)備,對于保證產(chǎn)品質(zhì)量和提高生產(chǎn)效率具有重要作用。
 
  1.離心力脫水:硅片在濕化學(xué)過程后需要清洗和干燥,SRD通過高速旋轉(zhuǎn)的離心力將硅片上的水分甩出,實(shí)現(xiàn)快速脫水。根據(jù)晶片運(yùn)動(dòng)方式的不同,離心甩干可以分為立式和水平式兩種類型,二者雖然在工藝上有所差異,但脫水原理相似。
 
  2.IPA蒸汽干燥:IPA(異丙醇)因其揮發(fā)性強(qiáng)和混溶性好的特點(diǎn),常用于晶圓的干燥過程。IPA可以與水混溶,并在一定的條件下迅速揮發(fā),帶走混合液體中的水分,從而干燥晶圓。這種方法對微細(xì)結(jié)構(gòu)友好,避免了機(jī)械力可能導(dǎo)致的晶圓破壞,并且可以減少顆粒污染。但需要注意的是,IPA易燃,操作時(shí)需遵守安全規(guī)定并確保良好通風(fēng)。
 
  3.自動(dòng)化設(shè)備設(shè)計(jì):電氣系統(tǒng)通常采用變頻器調(diào)速和PLC控制,以確保操作的穩(wěn)定性和可靠性。機(jī)械部分設(shè)計(jì)要求能夠適應(yīng)不同尺寸的電池片,并在高速旋轉(zhuǎn)和特大離心力的作用下保持穩(wěn)定。
硅片甩干機(jī)
 
  一、硅片甩干機(jī)的開機(jī)
 
  1.打開氣閥,然后合上總電源開關(guān)、及各個(gè)主電源開關(guān);
 
  2.打開操作屏左側(cè)的電源啟動(dòng)按鈕蓋,按一下操作屏左側(cè)上的紅色“電源”按鈕,打開操作屏電源。
 
  二、硅片甩干機(jī)的基本操作
 
  1.點(diǎn)擊“手動(dòng)畫面”進(jìn)入手動(dòng)調(diào)試畫面,該畫面有“低速關(guān)/開、高速關(guān)/開”按鍵。在參數(shù)設(shè)定畫面設(shè)定好低速噴水轉(zhuǎn)速和高速噴氮轉(zhuǎn)速后,在手動(dòng)調(diào)試畫面調(diào)試電機(jī)離心轉(zhuǎn)速情況。
 
  2.點(diǎn)擊“參數(shù)設(shè)置”按鍵彈出“請輸入密碼:“”。點(diǎn)擊“”鍵,彈出數(shù)字鍵輸入密碼“123456”后點(diǎn)擊數(shù)字鍵上的“ENT”鍵確認(rèn)后再點(diǎn)擊“進(jìn)入”按鍵打開參數(shù)設(shè)置畫面進(jìn)行“低速噴水時(shí)間、高速噴氮時(shí)間、低速噴水轉(zhuǎn)速、高速噴氮轉(zhuǎn)速、參數(shù)復(fù)位、加熱關(guān)/開、自動(dòng)關(guān)/開”等設(shè)置。
 
  3.設(shè)置溫度,按溫控儀上的上下調(diào)整按鈕進(jìn)行工藝溫度設(shè)定。
 
  4.按一下操作面板上的“開門”按鈕,甩干機(jī)操作屏首頁畫面上的“鎖關(guān)”轉(zhuǎn)換成“鎖開”,甩干機(jī)門打開。
 
  5.兩手同時(shí)按下操作面板上的“關(guān)門”按鈕,甩干機(jī)操作屏首頁畫面上的“鎖開”轉(zhuǎn)換成“鎖關(guān)”,甩干機(jī)門關(guān)閉。
 
  6.按一下操作屏上的“啟動(dòng)按鈕,自動(dòng)運(yùn)行甩干機(jī)。
 
  7.點(diǎn)擊“報(bào)警記錄”進(jìn)入報(bào)警記錄界面,查看報(bào)警記錄。
 
  8.設(shè)備運(yùn)行時(shí)出現(xiàn)異常情況,及時(shí)按下操作屏右側(cè)的“急停”按鈕,松開“急停”按鈕按“急停”按鈕上的箭頭旋轉(zhuǎn)退出急停狀態(tài)。
 
  三、硅片甩干機(jī)的關(guān)機(jī)
 
  1.按操作屏下的“電源”按鈕,關(guān)閉操作屏電源。
 
  2.關(guān)閉氣閥、然后關(guān)閉總電源開關(guān)及各個(gè)主電源開關(guān)。

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